电动 XYZθxθy 倾斜对准位移台，真空，M6
型号： 8081M-UHV
技术参数
位移轴
X, Y, Z, θx, θy
机制
Kinematic
驱动方式
Picomotor
行程范围
3 mm
角度范围
θx=8°, θy=10°
负载
13 N
小位移增量
<30 nm
角分辨率
θx, θy≤ µrad
真空兼容性
10-9 Torr
线缆类型
Kapton® Ribbon Ultrahigh Vacuum Rated
端口类型
DB15 Female
工作温度
10 to 40°C
螺纹类型
M4 and M6
在紧凑型设备中进行多轴光学定位
运动设备对准台将多个堆叠位移台的功能集成到具有多个促动器的单个位移台。这些位移台被设计为将诸如声光调制器的设备或光学器件对准到光束路径，从而避免因为进行多轴定位而组合部件产生的附加摆动。这些位移台具有将一个光轴对准另一个光轴所需的所有的四个自由度。五轴位移台额外提供焦点控制功能。每个自由度都有一个位移促动器，从而两个促动器在被移动相等距离时提供平移，而一个促动器的运动提供关于角平分线轴的倾斜。然后，沿相反方向旋转两个促动器螺钉使安装板围绕其中心旋转。每个位移台都有 8° 的倾斜运动（每 5° 旋转有 87 µrad 或 111 µrad 分辨率），以及 µm/5° 旋转分辨率下 3 mm 的线性平移。
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